鹏城微纳技术(沈阳)有限公司
首页 > 产品中心 > 半导体行业专用仪器 > 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
产品详情
团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
团簇式OLED真空蒸镀工艺装备的图片
参考报价:
面议
品牌:
鹏城微纳
关注度:
411
样本:
暂无
型号:
团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
产地:
沈阳
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 1
名 称:鹏城微纳技术(沈阳)有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:9857
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

产品详情

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”,是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5(2.5代线)的研发设计和生产制造。

项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题(如:源炉技术、精准对位技术(对位精度达到1.5μm)、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等)。

公司可对外承接OLED的G1和 G2.5工艺线的设计制造。


技术指标

 指标参数 
 对位精度 CCD精密对位≤1.5 υm,机械对位≤150 υm
 膜厚均匀性和重复 ±2%
 总体技术路线 采用Cluster方案
 工艺流程 设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂


设备构成




应用领域

可广泛用于OLED器件开发、量子点开发、薄膜太阳能电池器件研发、OLED微显示的研发和生产、OLED材料验证、VR(Micro-oled虚拟现实)、OLED照明等。


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言